集萃華科首臺國產(chǎn)晶圓測量機成功交付驗收

瀏覽：3188 作者：集萃華科時(shí)間：2022/5/18 10:39:58 分類(lèi)：通知公告

集萃華科測量裝備事業(yè)部

自主研制國產(chǎn)晶圓測量機

成功通過(guò)國內燈塔客戶(hù)驗收

▲ 國產(chǎn)晶圓測量機

驗收細節展示

順利通過(guò)測量帶SB-340,HT-260PGUV膜產(chǎn)品的厚度

厚度測試

可適用60um、500um、1000um厚度的圓片的厚度測量，測量范圍滿(mǎn)足技術(shù)性能

精度與翹曲

檢測精度滿(mǎn)足驗收條件

翹曲為3mm、4mm、5mm，吸真空后五點(diǎn)數據測量如表所示，可以完全吸附，無(wú)異常，滿(mǎn)足驗收條件

高精度的光學(xué)三維形貌檢測平臺

　　Zeus是高精度的光學(xué)三維形貌檢測平臺，采用先進(jìn)的直驅閉環(huán)運動(dòng)控制，搭載多種光學(xué)檢測頭完美實(shí)現三維輪廓高速掃描測量。Zeus平臺具備完整的軟件功能，可在現代外觀(guān)下進(jìn)行直觀(guān)的操作，輕松完成三維形貌分析、截面輪廓分析、GD&T尺寸分析、粗糙度分析、2D圖像尺寸測量和分析等功能，滿(mǎn)足不同類(lèi)型產(chǎn)品尺寸和外觀(guān)檢測的需求。下面從三個(gè)方面對其進(jìn)行介紹。

1、晶圓平臺模塊化概念

　　Zeus平臺具有模塊化概念，運動(dòng)執行系統可根據客戶(hù)的要求輕松組合實(shí)現訂制，滿(mǎn)足不同運動(dòng)構型、不同運動(dòng)行程的需要，可搭載多種3D測頭和2D測頭進(jìn)行高精度測量，并可以通過(guò)多個(gè)傳感器組合來(lái)解決客戶(hù)的復雜測量問(wèn)題，提供最優(yōu)的非接觸式解決方案。

2、晶圓平臺需求升級

　　Zeus支持一系列高精度傳感器技術(shù)(激光三角傳感器，點(diǎn)/面共聚焦傳感器)，對于速度要求特別高的檢測需求，我們有高精度光譜共聚焦傳感器可供選擇;對于要求最高極限分辨能力的測量要求，應用圖像共聚焦面傳感器則能夠提供最高測量精度時(shí)保證測量速度;Zeus搭載的XY軸運動(dòng)平臺可從50mm至400mm任意搭配選擇并提供客制化服務(wù)，可選用大理石底座平臺，一方面最大高度測量范圍可達4mm，另一方面最大高度分辨率可達1um，這使得Zeus可輕松面對各種測量任務(wù)，傳感器最高可達36萬(wàn)測點(diǎn)/亞微秒及分辨率。

3、晶圓測量機搭配的系統

　　測量系統是一個(gè)使用白光共焦的高精度晶圓測量系統。該系統允許測量光晶圓圖案晶圓、鋸框上的晶片，晶片多層晶片。該系統提供了晶圓厚度，粗糙度，總體厚度變化(TTV)，總堆善厚度，翹曲，結果呈現樣式多樣，表格，二維繪圖，三維偽彩色。該系統可用干外理不同尺寸的晶片外理300mm(12”)至直徑50mm(2”)的晶片。其晶片厚度測量范圍為100um至30mm。該系統可以測量裸晶圓和安裝在鋸框上的晶片。

1、非接觸晶圓厚度測量系統，晶圓規格最大可支持至12寸:
2、可測量單層、多層、帶膜晶圓等產(chǎn)品的厚度和翹曲的標準測量:
3、采用白光共焦測量硅晶片厚度、TTV和翹曲以及其他層厚度和TTV:
4、半自動(dòng)系統，使用多個(gè)晶圓固定裝置與計算機控制的XYZ軸;
5、晶圓的厚度測量范圍為100um至24mm;
6、支持用戶(hù)自定義制定測量工序并自動(dòng)取點(diǎn)測量并保存測量模式和數據
7、多種測量結果呈現形式(表格，2D繪圖，3D偽彩圖)。

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